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대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제26권 제5호
발행연도
2002.5
수록면
710 - 715 (6page)

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The spherical nonagglomerated and uniform nanometer-size SiO₂ particles are synthesized by the injection of TEOS vapor, ions and reaction gas in a furnace. Ions are generated by corona discharge and these ions charge SiO₂ particles. As a result, spherical, nonagglomerated and ultrafine particles are generated in various conditions. Their morphology, charging portion and size distribution are examined by using TEM, ESP and SMPS. As the applied voltage of electrode changes from 0 to 5.0 kV, it is observed that the mean diameter of SiO₂ particle decreases from 94 ㎚ to 42 ㎚.

목차

Abstract

1.서론

2.실험

3.실험 결과

4.결론

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