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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제26권 제7호
발행연도
2002.7
수록면
1,270 - 1,279 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2002

나노 압입곡선의 이론적 분석을 통한 박막의 잔류응력 평가
이윤희 ,  장재일 ,  권동일 대한기계학회 논문집 A권 2002.07 학술저널

2001

응력완화 경로분석과 압입자/시편간 접촉형상 모델링에 바탕한 박막재료의 국소 잔류응력 평가 ( Evaluation of Thin Film Residual Stress through the Analysis of Stress Relaxation Path and the Modeling of Contact Morphology )
이윤희 ,  김성훈 ,  장재일 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2001.06 학술대회자료

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Residual stress is a dominant obstacle to efficient production and safe usage of device by deteriorating the mechanical strength and failure properties. Therefore, we proposed a new thin film stress-analyzing technique using a nanoindentation method. For this aim, the shape change in the indentation load-depth curve during the stress-relief in film was theoretically modeled. The change in indentation depth by load-controlled stress relaxation process was related to the increase or decrease in the applied load using the clastic flat punch theory. Finally, the residual stress in thin film was calculated from the changed applied load based on the equivalent stress interaction model. The evaluated stresses for diamond-like carbon films from this nanoindentation analysis were consistent with the results from the conventional curvature method.

목차

Abstract

1.서론

2.압입하중-변위곡선 분석을 통한 박막 잔류응력의 이론적 평가

3.실험 방법

4.결과 및 고찰

5.결론

참고문헌

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