솔더 페이스트의 고속, 고정밀 검사를 위한 이차원/삼차원 복합 광학계 및 알고리즘 구현

조상현; 최흥문

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자료유형: 학술저널

저자정보: 조상현 최흥문

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SP 전자공학회논문지 SP편 제41권 제3호

발행연도: 2004.5

수록면: 139 - 146 (8page)

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본 논문에서는 솔더페이스트의 이차원 및 삼차원 자동검사를 함께 할 수 있는 복합 검사 광학계와 그 구동유닛을 단일 프로브 시스템으로 구현하고, 그를 위한 효과적인 비젼검사 알고리즘을 제안하였다. 솔더페이스트의 이차원 검사에는 One-pass Run Length 레이블링 알고리즘을 제안하여 입력 영상으로부터 솔더 페이스트 형상을 효과적으로 추출하도록 하였고, 고속 검사를 위한 프로브의 최적 이동 경로도 구하였으 , 삼차원 검사에는 기존의 레이져 슬릿빔 (slit-beam) 방식 대신 격자 투영식 모아레 간섭계에 기반한 위상이동 알고리즘을 도입하여 고정밀 검사가 가능토록 하였다. 전체 소프트웨어 구현에는 MMX 병렬처리기법도 적용함으로써 더욱 고속화 하였다. 10㎜×10㎜의 단위 측정영역(field of view: FOV) 에 대하여 x, y 축으로 10㎛, z축으로 1㎛의 분해능을 가지는 이차원 및 삼차원 복합 광학 검사 시스템을 제작하여 실험한 결과, 한 FOV에 대한 솔더 페이스트의 이차원 및 삼차원 검사를 영상포착 후 각각 평균 11msec 와 15msec의 짧은 시간에 처리할 수 있었고, ±1㎛의 두께 측정 정밀도를 얻을 수 있었다.

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[학술지(정기간행물)] - / 2000. / Design and Assembly Pro cess Implementations for BGAs : 54 ~ 57

[학술지(정기간행물)] - / 1985. / Measurement of Surface Tophography of Mag netic Tapes by Mirau Interferometry : 1489 ~ 1497

[학술지(정기간행물)] - / 1994. / High-speed Noncon tact Profiler based on Scanning White-light Interferometry : 7334 ~ 7338

[학술지(정기간행물)] - / 1982. / Shape Mea surement of Curved Objects Using Multiple Slit -ray Projections 4 : 614 ~ 646

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이 논문의 저자 정보

Cho Sang Hyun

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