고성능 I2L을 위한 새로운 제작공정 ( A New Process for a High Performance I2 L )

한철희; 김충기; 서광석

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자료유형: 학술저널

저자정보: 한철희 김충기 서광석

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회지 전자공학회지 제18권 제1호

발행연도: 1981.2

수록면: 51 - 56 (6page)

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