정전용량 주사형 데시미크론 현미경의 구현 ( Implementation of Scanning Capacitance Decimicron Microscope )

권영도; 이주신

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자료유형: 학술저널

저자정보: 권영도 이주신

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-S 전자공학회논문지 S편 제35권 제3호

발행연도: 1998.3

수록면: 424 - 434 (11page)

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