Laser-Acoustic Techniques for Temperature Measurements in Semiconductor Processing

Y. J. Lee; B. T. Khuri Yakud; K. C. Saraswat

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Y. J. Lee B. T. Khuri Yakud K. C. Saraswat

저널정보: 대한전자공학회 ICVC : International Conference on VLSI and CAD ICVC : International Conference on VLSI and CAD 제2권

발행연도: 1991.1

수록면: 302 - 305 (4page)

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