SMX/CMP 시스팀 소형화 설계 및 분석

이근우 ,  오현주 ,  주진천

[ETRI] 전자통신동향분석

1993 .09

SMX-1 실험실 모델의 운용 해석 및 성능 측정

장영민 ,  백영식 ,  이석기 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1990 .08

신호중계교환기 ( SMX-1 ) 시험 방식 ( Test Specification and Architecture of SMX-1 ( Signalling Message eXchange No. 1 ) System )

장영민 ,  백영식 ,  이영희

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

SMX-1 실험실 모델의 운용해석 및 성능 측정 ( Operational Analysis and Performance Measurement of the Laboratory Model SMX-1 ( Signalling Message Exchange No .1 ) System )

장영민 ,  백영식 ,  이석기 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1990 .01

신호중계교환기 SMX-1 의 장애 감내 기법 ( The Fault Tolerant Techniques of The Signalling Transfer Point System SMX-1 )

전광일 ,  백영식 ,  이영희

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

신호중계교환기 SMX-1의 장애 감내 기법 ( The Fault Tolerant Techniques of the Signalling Transfer Point System SMX-1 )

전광일 ,  백영식 ,  이영희

한국통신학회 학술대회논문집

1994 .01

촉매습식과산화(CWPO)를 이용한 설파메톡사졸의 분해

김둘선 ,  이동근 ,  김진솔

청정기술

2018 .12

SMX - 1 실험실 모델의 운용자정합

박남훈 ,  송우길 ,  강영만 외 1명

한국정보과학회 학술발표논문집

1990 .10

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구

권대희 ,  김형재 ,  정해도 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .10

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

IN 과 CCS

이영희

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

초음파를 이용한 Metal CMP의 Conditioning에 관한 연구

이성훈 ,  정해도 ,  안대균

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

CMP개론 및 현황

박진구

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs

Sun-Joon Pa ,  k ,  Boum-Young Pa 외 4명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구

문원하 ,  이재경 ,  황호정

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구

金東一 ,  許宗坤 ,  尹寬基 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )

김동일 ,  허종곤 ,  윤관기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향

이현섭 ,  박범영 ,  김구연 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2004 .11

CMP공정에서의 종점 검출 기술 현황

김승우 ,  김기홍

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05