수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구

최우범 ,  주철민 ,  이종석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Si기판 직접접합기술을 이용한 박막 SOI구조의 형성과 고감도 Si 홀 소자에의 응용 ( Formation of Thin Film SOI Structures and Its Application to a High-Sensitivity Si Hall Device Using Si-wafer Direct Bonding Technology )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Silicon-on-insulator(SOI) 기판이 3C-SiC/Si 박막 내의 잔류응력에 미치는 영향

박주훈 ,  이병택 ,  장성주 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

플라스틱 기판의 TCO박막 평가방법 및 기판에 관한 연구

박용호 ,  윤석호 ,  박은숙 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10

기판 접착을 이용한 몸체-접지형 SOI nMOSFET ( A Ground-Body SOI nMOSFET by Wafer Bonding )

강원구 ,  강상원 ,  김여환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

실리콘 직접 접합을 위한 선형가열법의 개발 및 SOI 기판에의 적용

이진우 ,  강춘식 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회지

2000 .04

Flexible기판의 특성 및 공정

김덕홍

Advanced and Future Microelectronics Workshop - Advanced Packaging Technology -

1991 .01

유연성 기판 기술 빛 특허 현황

한윤수 ,  권영환 ,  전찬욱 외 4명

인포메이션 디스플레이

2008 .01

SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 마이크로 시스템용 매몰 공동을 갖는 SOI 구조의 제조

강경두 ,  정귀상 ,  최성규

센서학회지

2002 .01

Partial SOI 기판을 이용한 고속-고전압 Smart Power 소자설계 및 전기적 특성에 관한 연구

최철 ,  구용서 ,  안철

대한전자공학회 학술대회

2000 .11

SIS CV 해석에 의한 SOI 구조의 특성평가 ( Characterization of SOI Structure by SIS CV Analysis )

배영호 ,  권영규 ,  정욱진 외 3명

전자공학회논문지-A

1992 .12

고정밀 얼라인을 위한 기판 조작장치 기구설계

이동은 ,  김숙한 ,  김준철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

SOI기판과 트렌치 기법을 이용한 완전 절연된 MOSFET의 전기적인 특성에 관한 연구

박윤식 ,  강이구 ,  김상식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

Negative PR의 기밀 특성

최의정 ,  선용빈

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지용 전면 투명전도막 최적화 연구

정대영 ,  송준용 ,  김경민 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2011 .05