Measurement of Composition and Dopant Concentration of Semiconductors Using FT-IR Spectroscopy

B. I. Choi; J. P. Hebb; M. I. Flik

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: B. I. Choi J. P. Hebb M. I. Flik

저널정보: 대한기계학회 International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering 1993년 제4권

발행연도: 1993.5

수록면: 211 - 218 (8page)

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